КВАНТОВЫЙ КРЕМНИЙ

1) Для повышения светопоглощающей способности поверхность солнечных элементов (СЭ) текстурируют. Поверхность с высоким светопоглощением получила название "черный кремний". Ключевой научно-технической и технологической задачей производителей СЭ является обеспечение производительности пластин «черного кремния» на уровне 3000 пластин в час при адекватной стоимости оборудования. 2) WOS-технология (wave ordered structure) – это производительная ионно-пучковая технология наноструктурирования поверхности кремния, позволяющая получать плотные массивы наноэлементов с заданными поперечными и вертикальными размерами. Последнее важно для оптимизации поглощения света «черным кремнием». Базовым элементом WOS-технологии выступает самоформирующаяся периодическая WOS-наномаска. Само явление обеспечивает высокий потенциал производительности. В то же время, несмотря на процесс самоформирования, размер элементов маски полностью управляем в диапазоне от 100 нм и меньше. В сочетании с РИТ WOS-наномаска позволяет формировать высокоаспектные структуры с заданной формой наноэлементов в сечении. В отличие от других способов формирования «черного кремния» WOS-технология позволяет управляемо получать наноэлементы с размерами 10 нм и менее, что обеспечивает проявление квантово-размерных эффектов, в том числе многоэкситонной генерации (МЭГ). Ожидается, что за счет МЭГ в кремниевых наноструктурах КПД кремниевых с лнечных элементов можно довести до 44% для неконцентрированного солнечного излучения.