ПОЛАРЛАЙТ

Компания занимается разработкой спектральных эллипсометров – оптических приборов для бесконтактного измерения толщин и параметров зонной структуры тонких полупроводниковых и диэлектрических слоев.

В частности, ведется разработка высокоскоростного спектральный эллипсометра для in-situ характеризации тонкопленочных полупроводниковых и диэлектрических структур больших площадей. Рабочие характеристики дисплеев и тонкопленочных солнечных модулей сильно зависят от толщины, зонной структуры и шероховатостей границ тонких полупроводниковых и диэлектрических слоев, являющихся их основой. Проект посвящен разработке нового эллипсометра для контроля параметров тонких слоев при их осаждении в рамках промышленного производства указанных изделий. Возможность встроить эллипсометр в производственные линии открывается благодаря использованию новой оптической схемы.